Forschungszentrum Karlsruhe - Wissenschaftliche Berichte - FZKA 6740
Superharte, unterschiedlich gradierte PVD-Kohlenstoffschichten mit und ohne Zusätze von Titan und Silizium
Christiane
Bauer
Zusammenfassung
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Superhard
PVD carbon films deposited with deífferent gradients with and without additions
of titanium and silicon
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