Wachstum von Zwischenschichten auf Nickel zur Deposition von YBa2CU3O7-d - Schichten

•Uwe Wozniak1,2, Michael Merz1 und Jochen Geerk1
1Forschungszentrum Karlsruhe, Institut für Festkörperphysik, Postfach 3640, D-76021 Karlsruhe
2Universität Karlsruhe (TH), Fakultät für Physik, Postfach 6980, D-76128 Karlsruhe

In der RABiTS Technologie hat neben der biaxialen Textur der Folie die Schichtfolge einen starken Einfluss auf die Transporteigenschaften der supraleitenden Schicht. Um das Schichtwachstum und die während der Deposition auftretenden Effekte genauer zu untersuchen, wurde das RABiTS-Band durch (100) orientiertes Nickel simuliert, das durch Aufdampfen im UHV hergestellt wurde. Hierauf wurde die von der Oak Ridge Gruppe vorgeschlagene Mehrlage YBa2Cu3O7-d//CeO2//YSZ//CeO2 deponiert, wobei auf die Nickel-Schicht zuvor eine Palladium-Schicht zur Vermeidung von (111) orientiertem NiO aufgedampft wurde. Das CeO2 der CeO2//Pd//Ni-Schichtfolge wurde reaktiv aufgedampft; die YBa2Cu3O7-d//CeO2//YSZ-Schichtfolge wurde gesputtert. Die Mehrlagen wurden durch Messungen der Transporteigenschaften und der biaxialen Textur charakterisiert. Durch Röntgenspektren und AFM-Bilder wird gezeigt, dass eine Ni-Pd-Legierungsbildung und eine Ni- und Pd-Oxidation maßgeblich die Eigenschaften der nachfolgenden Schichten bestimmt.