•Daniel C. Meisel¹, Yuri V. Miklyaev¹, Wolfpeter Koch², Georg von Freymann¹, Kurt Busch³ und Martin Wegener^1,2
1Institut für Nanotechnologie, Forschungszentrum Karlsruhe in der Helmholtz-Gemeinschaft, D-76021 Karlsruhe
²Institut für Angewandte Physik, Universität Karlsruhe (TH), D-76128 Karlsruhe
³Institut für Theorie der Kondensierten Materie, Universität Karlsruhe (TH), D-76128 Karlsruhe

Wir belichten eine ca. 10 mm dicke SU" 8-Photolackschicht mit einem Vielstrahlinterferenzmuster und entwickeln diese. Die Einstrahlrichtungen der Laserstrahlen legen den Gittertyp fest, die Intensitäten und Polarisationen die Form der Oberfläche des Basiselementes [1]. Die Lichtquelle ist ein gütegeschalteter und frequenzverdreifachter Nd:YAG-Laser. Durch Einsatz eines optischen Einkoppelelementes konnte erstmals eine dreidimensional-periodische Photolack-Luft-Struktur mit fcc-Gittersymmetrie hergestellt werden [2]. Die Template werden mittels REM-Aufnahmen und optischer Transmissionsspektroskopie untersucht. Es ergibt sich ein Stoppband, dessen Lage und Breite

[mit Bandstrukturrechnungen übereinstimmt. 1