Herstellung und Charakterisierung von Wellenleiterstrukturen in PMMA

•Karsten Litfin1, Steffi Finke1, Ermile Gaganidze1, Wilhelm Pfleging1, Lothar Steinbock1, Roland Heidinger1, Patric Henzi2, Johannes Böhm3 und Thomas Hanemann3
1IMF I, Forschungszentrum Karlsruhe, Postfach 3640, 76021 Karlsruhe
2IMT, Forschungszentrum Karlsruhe, Postfach 3640, 76021 Karlsruhe
3IMF III, Forschungszentrum Karlsruhe, Postfach 3640, 76021 Karlsruhe

Es wurden verschiedene Ansätze zur Herstellung von monomodigen Wellenleiterstrukturen in PMMA-Substraten untersucht. Einerseits wurden mittels Laserablation Grabenstrukturen in das Substrat geschrieben, die anschließend mit brechzahlangepassten Flüssigkeiten befüllt wurden. Andererseits wurden Wellenleiterstrukturen durch UV-Belichtung und der dadurch verusachten Brechzahländerung erzeugt. Dabei kamen direktes Strukturieren mittels Laserstrahl, Maskenbelichtung und die Belichtung von vorgeprägten Strukturen zum Einsatz.

Die so erzeugten Wellenleiterstrukturen konnten an handelsübliche Wellenleiterkabel angekoppelt werden. Mit Hilfe von Verlust- und Laufzeitmessungen wurden die optischen Parameter der erzeugten Komponenten bestimmt und Vor- bzw. Nachteile der einzelnen Herstellungsarten diskutiert.